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    高純氣體PO2的在線質量流量的測量

    欄目:技術文章 發布時間:2021-05-17

    在半導體工廠,對于高純氧氣PO2的流量監測,因為現場管道為1英寸EP管,故此采用帶EP管段式的熱質流量計(可參考圖示)。
    它的表頭和管段之間采用VCR接口方式,以方便日后每年1次的年度校準,擰下VCR的公頭即可。該流量計管段和現場管道采用焊接方式;表頭可顯示瞬時質量流量和累積質量流量;同時可通過4-20mA/MODBUS等輸出方式將數據傳遞給上位主機。該流量計具有1級精度、原氣標定、重復性好、免維護和壽命長等特點,已經成為半導體工廠對于PO2、GN2、HPCDA、MPCDA、PHe、PAr、GH2等氣體流量監測的優先選擇。


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